• LEGEX系列为初项0.28μm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并消除或最大程度地降低其影响。
• 固定桥结构和精密空气轴承在高刚性导轨上运行确保了良好的运动稳定性和高几何精度。采用FEM结构解析模拟进行彻底的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。另外，其他多种技术如抗振测量等用于驱动单元结构中，实现了高精度。